光学部品設計,薄膜,研磨,蒸着,切削,レンズ,プリズム,IRカット,ダイシング,切断,ガラス加工などオプティカル製品を扱う東亜理化学研究所です 

蒸着・薄膜・成膜加工
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蒸着写真

蒸着・薄膜・成膜加工

真空蒸着、IAD、IBS、DS(対応可能)

光学特性、仕様、用途、コストに合せて、さまざまな成膜技術で
ご提案いたします。
試作〜量産まで最先端製品の要求を満たす、品質・スペックを
実現させます。
また、コスト・納期でお困りの時は、遠慮なくお申し付けください。


蒸着加工
   
真空蒸着
(EB蒸着、抵抗加熱)
恒温恒湿器(環境試験用)
IAD
(イオンガン、プラズマガン、イオンプレーティング)
恒温恒湿器(環境試験用)
   
IBS(スパッタ成膜)
恒温恒湿器(環境試験用)
DS(デジタルスパッタ成膜)
恒温恒湿器(環境試験用)

金属膜

金属膜

金属膜種類:Al、Au、Pt、Cr、Ti、Ni、Mo、Cu、Ag

製品例

ミラー、NDフィルター、電極、精密写真用成膜

誘電体多層膜

誘電体多層膜

誘電体多層膜材料:酸化チタン(TiO3)、酸化シリコン(SiO2)、ニオブ(Nb2O5)、
タンタル(Ta2O5)フッ化マグネシウム(MgF2

製品例

  • 反射防止膜(単層、マルチAR)
  • IR CUTフィルター
  • ハーフミラー
  • PBSコート
  • 可視光レーザーダイオード用ミラー
  • 広域帯干渉フィルター
  • ショートパスフィルター
  • ダイクロイックミラー
  • 広帯域ホットミラー、ホットミラー
  • ルゲート(ルーゲート)
  • ノッチフィルター
  • 多層膜フィルター
  • バンドパスフィルター
  • UVカットコート
  • 高精度レーザーミラー
  • ロングパスフィルター
  • ダイクロイックフィルター
  • 可視光ブロックフィルター
  • UVホットミラー
  • ダイクロイックプレート型ビームスプリッター

作業風景

蒸着機1
蒸着機2

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