評価器 レーザー干渉計をご紹介いたします
面精度の測定に活躍するレーザー干渉計
弊社はオリンパス製(KIF-202(+KIF-FSPC))、富士フイルム製(Fujinon G102)、ZYGO(GPI-XP)を保有し、面精度を測定する対象物の形状や仕様によって使い分けております。すべての測定につき解析データをご提供いたします。
平面は勿論、R測定用の参照レンズのラインナップも揃えております。
また、NDによる濃度調整や透過波面用のアダプタもございます。
弊社の測定の特色
弊社では、研磨⇔外形加工⇔コート⇔他表面処理のすべての工程ごとに面精度測定を行い、研磨の後工程でもスペックを確認しております。高精度な平面が求められる製品は、後工程の応力を計算に入れて、あえて平面を凸面や凹面に研磨する場合もございます。
そこにカウンター膜を成膜することにより、ハイスペックな面精度を確保する加工も行っております。
なお、測定だけの依頼もお受けいたします。
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面精度とは
面精度とは、研磨など加工した面の理想面に対する形状誤差のことです。PV値（最大誤差）で表すことが多いですが、RMS値（二乗平均誤差）で表す場合もあります。
一般的にλ（ラムダ）は「波長」を表しますが、面精度の文脈では干渉計の検査で通常用いられるHe-Neレーザの波長（632.8nm）を指します。
つまり1λ = 632.8nm ≒ 0.633μmとなります。
また干渉縞（ニュートンリング）の本数を単位として面精度を示すこともできます。
1/2λ ≒ 0.317μm = N(ニュートンリング)1本
面精度には、反射波面精度と透過波面精度があります。
反射波面が対象物の表面の形状誤差を測定するものであるのに対し、透過波面は内部の屈折率の不均一性も加味される点が異なります。
図面上では、しばしば反射波面収差、透過波面収差と記載されます。
