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ニュースリリース・新技術情報

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第一工場 最新鋭の蒸着機を導入しました

この度、弊社第一工場に、膜厚制御性に優れた新規蒸着機(直接式光学膜厚モニタ蒸着装置)が導入されました。
さらなる高品質・高精度を目指し、皆様のご期待に沿えるよう精進して参ります。


直視モニタ(直接式光学膜厚モニタ)蒸着装置について

バンドパスフィルタなど多層膜の膜厚制御は、光量の変化量により制御されるのが一般的となります。

従来方式の間接モニタは、ドーム中央などに配置されたモニタでの疑似的な監視となり、その配置は基板の軌道から大きく離れているため、設計通りの膜厚を制御するための調整が難しく時間と労力が必要でした。(基板とイコールになりにくい)※1

対して、新たに導入した直接式光学膜厚モニタ(=直視モニタ)は、膜厚制御性に優れており、基板を挟む形で配置された投受光部により成膜中の基板を直接監視 ※2することによって基板そのものの膜厚を制御、すなわち、より設計に近い分光特性を出すことが可能です。

さらに、搭載されたソフトによって設計値との自動フィッティングを行いながら成膜されるため、連続生産における再現性も大きく向上しました。
(下記データを参照ください)


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